-
Filtrácia vysoko čistých plynov pre polovodičový priemysel – séria HENGKO HF
Popis Vysokotlakový plynový filter je špeciálne navrhnutý na použitie vo vysokotlakových systémoch na dodávku vysoko čistého plynu a v skrinkách na ultra vysoko čistý plyn...
Zobraziť podrobnosti -
Dosiahnite ultračistú filtráciu plynu pre výrobu polovodičov a zabezpečte odstránenie kontaminantov...
Popis Špeciálny filter pre procesné plyny, známy aj ako filter pre použitie v potrubí, je špeciálne navrhnutý pre polovodičový priemysel na presné odstraňovanie...
Zobraziť podrobnosti -
Vysoko čisté objemové a úžitkové filtre pre polovodičový priemysel
Popis Vysokoprietokový plynový filter – Špeciálne navrhnutý na filtráciu procesných plynov s ultra vysokou čistotou pri výrobe polovodičov. Presne navrhnutý filter...
Zobraziť podrobnosti -
Riešenie filtrácie plynov pre polovodičový priemysel – séria HF od spoločnosti HENGKO
Popis Vysokotlakový plynový filter je špeciálne navrhnutý na použitie vo vysokotlakových systémoch na dodávku vysoko čistého plynu a v skrinkách na ultra vysoko čistý plyn...
Zobraziť podrobnosti -
Plynové filtre kompatibilné s čistými priestormi: Udržujte prietok vzduchu a plynu bez kontaminantov v ...
Popis Špeciálny filter pre procesné plyny, známy aj ako filter pre použitie v potrubí, je špeciálne navrhnutý pre polovodičový priemysel na presné odstraňovanie...
Zobraziť podrobnosti -
Vysoko čistá filtrácia pre ultračistú výrobu polovodičov
Popis Vysokoprietokový plynový filter – Špeciálne navrhnutý na filtráciu procesných plynov s ultra vysokou čistotou pri výrobe polovodičov. Presne navrhnutý filter...
Zobraziť podrobnosti -
Pokročilý inline plynový filter pre rafinérie ropy a plynu
Popis Špeciálny filter pre procesné plyny, známy aj ako filter pre použitie v potrubí, je špeciálne navrhnutý pre polovodičový priemysel na presné odstraňovanie...
Zobraziť podrobnosti -
Veľkoobjemové a úžitkové filtre pre vysokú presnosť pri výrobe polovodičov
Popis Vysokoprietokový plynový filter – Špeciálne navrhnutý na filtráciu procesných plynov s ultra vysokou čistotou pri výrobe polovodičov. Presne navrhnutý filter...
Zobraziť podrobnosti -
Plynový filter typu T je nevyhnutný pre čisté a spoľahlivé spracovanie polovodičov
Popis Špeciálny filter pre procesné plyny, známy aj ako filter pre použitie v potrubí, je špeciálne navrhnutý pre polovodičový priemysel na presné odstraňovanie...
Zobraziť podrobnosti -
Riešenia filtrácie vysoko čistých plynov pre polovodičový priemysel
Popis Vysokoprietokový plynový filter – Špeciálne navrhnutý na filtráciu procesných plynov s ultra vysokou čistotou pri výrobe polovodičov. Presne navrhnutý filter...
Zobraziť podrobnosti -
Plynový filter typu T pre polovodičové aplikácie, priemyselný filter typu T...
Popis Špeciálny filter pre procesné plyny, známy aj ako filter pre použitie v potrubí, je špeciálne navrhnutý pre polovodičový priemysel na presné odstraňovanie...
Zobraziť podrobnosti -
Filtre s maximálnou čistotou pre kritické polovodičové procesy
Popis Vysokoprietokový plynový filter – Špeciálne navrhnutý na filtráciu procesných plynov s ultra vysokou čistotou pri výrobe polovodičov. Presne navrhnutý filter...
Zobraziť podrobnosti -
Systém filtrácie plynu typu T na použitie v plynových skrinkách a systémoch dodávky plynu, vysokoúčinný...
Popis Špeciálny filter pre procesné plyny, známy aj ako filter pre použitie v potrubí, je špeciálne navrhnutý pre polovodičový priemysel na presné odstraňovanie...
Zobraziť podrobnosti -
Difúzory plynu s vysokou čistotou a vysokým tlakom pre bezkonkurenčnú filtráciu a presné regulovanie prietoku...
Popis Difúzny filter je špičkové riešenie špeciálne navrhnuté pre aplikácie rýchleho odvetrávania vo vákuových komorách používaných pri výrobe polovodičov...
Zobraziť podrobnosti -
IGS Filters nízkoprofilové povrchové filtre s tesnením C, systémy na dodávanie plynu pre polovodiče
Popis Filtre HENGKO pre povrchovú montáž sú navrhnuté tak, aby spĺňali náročné požiadavky integrovaných plynových systémov používaných v polovodičových OEM nástrojoch. Ponúkajú ...
Zobraziť podrobnosti -
OEM filtre na plyn s ultravysokou čistotou, riešenia z nehrdzavejúcej ocele na mieru pre polovodičové a...
OEM filtre na plyn s ultravysokou čistotou, riešenia z nehrdzavejúcej ocele na mieru pre polovodičový a laboratórny priemysel, popis, vysokoprietokový plynový filter – konkrétne...
Zobraziť podrobnosti -
Priemyselný inline plynový filter pre systémy čistenia plynov
Popis Špeciálny filter pre procesné plyny, známy aj ako filter pre použitie v potrubí, je špeciálne navrhnutý pre polovodičový priemysel na presné odstraňovanie...
Zobraziť podrobnosti -
Vynikajúca filtrácia a spoľahlivé riadenie prietoku pod vysokým tlakom pre polovodičové procesy
Popis Difúzny filter je špičkové riešenie špeciálne navrhnuté pre aplikácie rýchleho odvetrávania vo vákuových komorách používaných pri výrobe polovodičov...
Zobraziť podrobnosti -
Riešenia povrchového filtra s tesnením C pre efektívne systémy dodávky plynu od spoločnosti IGS
Popis Filtre HENGKO pre povrchovú montáž sú navrhnuté tak, aby spĺňali náročné požiadavky integrovaných plynových systémov používaných v polovodičových OEM nástrojoch. Ponúkajú ...
Zobraziť podrobnosti -
Výrobca vysoko čistých filtračných prvkov poskytujúci presnú reguláciu prietoku pre továrne a čistiace...
Výrobca vysoko čistých filtračných prvkov poskytujúci presnú reguláciu prietoku pre továrne a aplikácie v čistých priestoroch Popis Povrchové filtre HENGKO sú určené...
Zobraziť podrobnosti
Polovodičové plynové filtre:
Zabezpečenie bezchybnej čistoty plynu pri výrobe triesok
V zložitom svete výroby polovodičov, kde sú presnosť a čistota prvoradé, je kvalita
použité plyny zohrávajú kľúčovú úlohu pri určovaní úspešnosti procesu. Nečistoty, a to aj v nekonečne malých množstvách,
môže spôsobiť spúšť v jemných obvodoch mikročipov, čím ich urobí chybnými a nepoužiteľnými. Na ochranu
V tomto kritickom procese polovodičové plynové filtre stoja ako neústupní strážcovia a starostlivo odstraňujú nečistoty.
a zabezpečenie dokonalej kvality plynov, ktoré prúdia výrobnými linkami.
Spekané kovové filtre majú mnoho vynikajúcich vlastností a výhod
1. Vyrobené v najmodernejšom prostredí čistých priestorov
Tieto filtre sa vyrábajú v najmodernejšej čistej miestnosti, v prostredí, kde sa starostlivo udržiavajú bezchybné podmienky, aby sa minimalizovala akákoľvek potenciálna kontaminácia. Prechádzajú prísnym výrobným procesom, ktorý začína presným zváraním v atmosfére čisteného vzduchu. Následné preplachovanie deionizovanou vodou a následné preplachovanie filtrovaným dusíkom pod vysokým tlakom eliminuje všetky pretrvávajúce častice a znižuje riziko ich uvoľňovania.
2. Výnimočná účinnosť odstraňovania častíc
Vďaka pozoruhodnej účinnosti filtrácie 9 LRV pre častice s veľkosťou 0,003 μm, ktoré spĺňajú prísne normy stanovené testovacími metódami SEMI F38 a ISO 12500, tieto filtre účinne odstraňujú všetky častice spôsobené koróziou a častice generované pohyblivými časťami, čím zabezpečujú nedotknutú čistotu plynov.
3. Vynikajúca mechanická pevnosť
Tieto filtre, ktoré boli dôkladne testované, aby zaručili výnimočnú odolnosť v náročných výrobných procesoch a prostrediach, ktoré často využívajú vysoký tlak plynu, poskytujú neochvejný výkon počas celej svojej životnosti.
4. Prekračovanie najvyšších štandardov v odvetví
Tieto filtre prekonávajú prísne požiadavky na filtráciu plynov pri spracovaní polovodičov a podstupujú dôkladné testovanie, aby sa zaručilo, že spĺňajú kritické štandardy účinnosti filtrácie, presného riadenia prietoku a bezpečnostných štandardov požadovaných systémami dodávky plynu pri výrobe polovodičov.
5. Neochvejný záväzok k bezpečnosti
Aby sa zabránilo vystaveniu horľavým, korozívnym, toxickým a samozápalným procesným plynom, kryty filtrov prechádzajú dôkladnými testami tesnosti, ktoré zabezpečujú dosiahnutie pozoruhodnej miery úniku menšej ako 1x10-9 atm scc/sekundu. Tento neochvejný záväzok k bezpečnosti zabezpečuje, že nebezpečné plyny sú zachytené a zabráne sa ich poškodeniu.
6. Bezkompromisná čistota pre excelentnosť vo výrobe čipov
Vďaka svojim výnimočným filtračným schopnostiam, neochvejnému záväzku k bezpečnosti a dodržiavaniu najvyšších priemyselných štandardov zohrávajú tieto plynové filtre kľúčovú úlohu pri ochrane zložitého procesu výroby polovodičov. Sú strážcami čistoty a zabezpečujú, aby výrobnými linkami pretekali iba tie najčistejšie plyny, čím pripravujú cestu pre tvorbu vysokovýkonných mikročipov, ktoré poháňajú náš moderný svet.
Typy polovodičových filtrov
Polovodičové filtre sa používajú v rôznych aplikáciách, vrátane:
* Výroba elektroniky:
Polovodičové filtre sa používajú na odstraňovanie častíc z ultračistej vody, plynov a chemikálií používaných pri výrobe polovodičov.
* Chemicko-mechanická planarizácia (CMP):
Polovodičové filtre sa používajú na odstraňovanie častíc zo suspenzií CMP, ktoré sa používajú na leštenie polovodičových doštičiek.
* Biomedicínske:
Polovodičové filtre sa používajú na odstraňovanie častíc z kvapalín používaných v lekárskej diagnostike a liečbe.
* Životné prostredie:
Polovodičové filtre sa používajú na odstraňovanie častíc zo vzduchu a vody.
Existujú štyri hlavné typy polovodičových filtrov:
1. Membránové filtre:
Membránové filtre sú vyrobené z tenkej, pórovitej vrstvy, ktorá umožňuje priechod tekutín a zároveň zachytáva častice.
2. Hĺbkové filtre:
Hĺbkové filtre sú vyrobené z hrubého, kľukatého lôžka materiálu, ktoré zachytáva častice, ktoré prúdia cez filter.
3. Adsorpčné filtre:
Adsorpčné filtre sú vyrobené z materiálu, ktorý priťahuje a zachytáva častice.
4. Spekané kovové filtre
Spekané kovové filtresú typom hĺbkového filtra, ktorý sa bežne používa pri výrobe polovodičov. Vyrábajú sa spekaním jemného kovového prášku do poréznej štruktúry. Spekané kovové filtre sú známe svojou vysokou odolnosťou, vysokou účinnosťou filtrácie a schopnosťou odolávať vysokým teplotám a tlakom.
Výhody spekaných kovových filtrov pre výrobu polovodičov:
* Vysoká odolnosť:
* Vysoká účinnosť filtrácie:
* Dlhá životnosť:
* Chemická kompatibilita:
Aplikácie spekaných kovových filtrov vo výrobe polovodičov:
* Čistenie plynu:
Spekané kovové filtre sú neoddeliteľnou súčasťou procesu výroby polovodičov a pomáhajú zabezpečiť výrobu vysokokvalitných polovodičových súčiastok.
Typ polovodičového filtra použitého v konkrétnej aplikácii závisí od veľkosti odstraňovaných častíc, typu filtrovanej kvapaliny a požadovanej úrovne filtrácie.
Tu je tabuľka sumarizujúca rôzne typy polovodičových filtrov:
| Typ filtra | Popis | Aplikácie | Obrázok |
|---|---|---|---|
| Membránové filtre | Vyrobené z tenkej, pórovitej fólie, ktorá umožňuje priechod tekutín a zároveň zachytáva častice. | Výroba elektroniky, CMP, biomedicína, environmentálne | |
| Hĺbkové filtre | Vyrobené z hrubého, kľukatého lôžka materiálu, ktoré zachytáva častice, ktoré prúdia cez filter. | CMP, biomedicínske, environmentálne | |
| Adsorpčné filtre | Vyrobené z materiálu, ktorý priťahuje a zachytáva častice. | Výroba elektroniky, CMP, biomedicína, environmentálne | |
| Spekané kovové filtre | Vyrobené spekaním jemného kovového prášku do pórovitej štruktúry. | Čistenie plynov, chemická filtrácia, filtrácia ultračistej vody, filtrácia suspenzie CMP | Spekané kovové filtre pre polovodiče |
Aplikácia
Spekané kovové polovodičové plynové filtre sa široko používajú v rôznych aplikáciách v polovodičovom priemysle. Ich jedinečné vlastnosti, ako je vysoká účinnosť filtrácie, odolnosť a schopnosť odolávať vysokým teplotám a tlakom, z nich robia základnú súčasť systémov dodávky plynu pri výrobe polovodičov.
Tu sú niektoré špecifické aplikácie plynových filtrov zo spekaných kovov a polovodičov:
1. Výroba oblátok:
Spekané kovové filtre sa používajú na čistenie plynov používaných pri výrobe doštičiek, ako je dusík, vodík a kyslík. Tieto plyny sú nevyhnutné pre procesy, ako je epitaxný rast, leptanie a dopovanie.
2. Chemická filtrácia:
Spekané kovové filtre sa používajú na filtrovanie chemikálií používaných pri výrobe polovodičov, ako sú kyseliny, zásady a rozpúšťadlá. Tieto chemikálie sa používajú na rôzne účely vrátane čistenia, leptania a leštenia.
3. Filtrácia ultračistej vody:
Spekané kovové filtre sa používajú na filtrovanie ultračistej vody (UPW) používanej pri výrobe polovodičov. UPW je nevyhnutná na čistenie a oplachovanie doštičiek, ako aj na prípravu chemikálií.
4. Filtrácia suspenzie CMP:
Spekané kovové filtre sa používajú na filtrovanie suspenzií CMP, ktoré sa používajú na leštenie polovodičových doštičiek. CMP je kritický proces pri výrobe mikročipov.
5. Filtrácia v mieste použitia (POU):
Ako filtre POU sa často používajú spekané kovové filtre, ktoré sa inštalujú priamo v mieste použitia, aby sa zabezpečila najvyššia úroveň filtrácie. Filtre POU sú obzvlášť dôležité pre aplikácie, kde je čistota plynu kritická, napríklad pri výrobe mikroprocesorov a iných vysokovýkonných zariadení.
6. Manipulácia s vysoko čistým plynom:
Spekané kovové filtre sa používajú vo vysoko čistých systémoch na manipuláciu s plynmi na odstránenie nečistôt z plynov používaných pri výrobe polovodičov. Tieto nečistoty môžu zahŕňať častice, vlhkosť a organické zlúčeniny.
7. Výroba mikroelektroniky:
Spekané kovové filtre sa používajú pri výrobe mikroelektroniky, ako sú počítače, tablety, mobilné telefóny, senzory internetu vecí a riadiace zariadenia.
8. Filtrácia pomocou mikroelektromechanických systémov (MEMS):
Spekané kovové filtre sa používajú pri MEMS filtrácii, čo je proces odstraňovania nečistôt z mikroelektromechanických systémov. MEMS sa používajú v rôznych aplikáciách vrátane senzorov, akčných členov a prevodníkov.
9. Filtrácia úložiska dát:
Spekané kovové filtre sa používajú pri filtrácii zariadení na ukladanie dát, čo je proces odstraňovania nečistôt z zariadení na ukladanie dát, ako sú pevné disky a disky SSD.
Okrem týchto špecifických aplikácií sa plynové filtre zo spekaných kovov a polovodičov používajú aj v rôznych ďalších aplikáciách v polovodičovom priemysle. Vďaka svojej všestrannosti a spoľahlivosti sú nevyhnutným nástrojom pre výrobcov polovodičov.
Hľadáte vysokokvalitné spekané kovovo-polovodičové plynové filtre?
HENGKO je vaším spoľahlivým partnerom pre OEM riešenia v oblasti výroby polovodičov.
Naše precízne navrhnuté filtre zabezpečujú spoľahlivosť a efektívnosť vašich procesov a ponúkajú vám výhodu na konkurenčnom trhu.
Prečo si vybrať filtre HENGKO?
* Vynikajúca kvalita a odolnosť
* Riešenia na mieru, ktoré vyhovujú vašim špecifickým potrebám
* Zvýšený výkon pri výrobe polovodičov
Nenechajte problémy s filtráciou brzdiť vašu produkciu.
Kontaktujte nás ešte dnes a zistite, ako naše spekané kovové filtre môžu zrevolucionizovať váš výrobný systém.
Kontaktujte nás naka@hengko.com
Spojte sa so spoločnosťou HENGKO a urobte krok k dokonalosti vo výrobe polovodičov!


















