Vysoko čistá filtrácia pre ultračistú výrobu polovodičov
Popis
Vysokoprietokový plynový filter – Špeciálne navrhnutý na filtráciu procesných plynov s ultra vysokou čistotou pri výrobe polovodičov. Je precízne vyrobený z nehrdzavejúcej ocele 316L a disponuje viacstĺpcovou alebo vrstvenou diskovou konštrukciou, ktorá zaisťuje nízky odpor pri vysokých prietokoch s presnosťou filtrácie dosahujúcou 0,003 μm, čo spĺňa požiadavky na ultravysokú čistotu. Celokovová konštrukcia z neho robí ideálne filtračné riešenie pre dynamické prostredia s vysokou teplotou.
Funkcia produktu
▶Celá konštrukcia z nehrdzavejúcej ocele 316L— Zaisťuje trvanlivosť a odolnosť voči korózii.
▶Vysoký prietok, nízky odpor— Optimalizované pre vysoký prietok s minimálnou stratou tlaku.
▶Ultra vysoká účinnosť zadržiavania častíc— Vynikajúce na udržiavanie ultračistých podmienok.
▶Odolné voči vysokým teplotám, tlaku a korózii— Vhodné do náročných podmienok.
▶Kompatibilné s rôznymi procesnými plynmi— Všestranné pre rôzne priemyselné aplikácie.
▶Ideálne pre výrobu, testovanie a balenie v čistých priestoroch— Ideálne na použitie v kontrolovanom prostredí.
▶100% testovanie integrity— Každý filter prechádza komplexným testovaním integrity, aby sa zabezpečila jeho kvalita.
▶100% testovanie úniku hélia— Overené testovaním tesnosti héliom pre zaistenie spoľahlivosti v kritických aplikáciách.
Dátový list
Technické parametre
| Parameter | Špecifikácia |
|---|---|
| Materiál filtračného prvku | Práškovo spekaná nehrdzavejúca oceľ 316L |
| Materiál puzdra | Nerezová oceľ 316L |
| Maximálny vstupný tlak | 207 barov |
| Maximálny prevádzkový diferenčný tlak | 5,2 baru |
| Miera úniku pri overení hélia | 2 x 10⁻¹⁰ cm3/min |
| Miera úniku hélia | 1 x 10⁻¹⁰ cm3/min |
| Povrchová úprava | |
| Vonkajší povrch | Ra < 1,6 μm |
| Vnútorný povrch | Ra < 0,2 μm |
| Maximálna prevádzková teplota | |
| Inertný plyn | 400 – 500 ℃ |
| Korozívny a reaktívny plyn | 50 ℃ |
| Účinnosť zadržiavania častíc | ≥99,9999999 % (9LRV) @ 30 slpm |
| Čistota následného toku | ≤0,03 častíc/liter pri > 0,01 μm, 30 slpm |
| Veľkosť zadržania častíc | ≥0,003 μm |
Veľkosť
Tu je číslo dielu, ktorý si môžete objednať, a podrobnosti o veľkosti:
| Model produktu | Materiál filtračného prvku | Presnosť filtrácie (μm) | Typ pripojenia |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Nerezová oceľ 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Nerezová oceľ 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Nerezová oceľ 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Nerezová oceľ 316L | 10~0,003 | 1” |
| Prispôsobiteľné | Nerezová oceľ 316L | 10~0,003 | Podľa potreby |
Typické aplikácie
niektoré typické aplikácieVysoko čisté objemové a úžitkové filtreaFiltre prúdenia plynu na plynovej plošine:
1. Výroba polovodičov
*Zabezpečuje dodávku ultračistého plynu pre výrobu doštičiek, leptanie a procesy chemického nanášania z pár (CVD).
*Udržiava vysokú čistotu v systémoch distribúcie plynu pre dusík, argón a iné nosné plyny.
2. Farmaceutická výroba
*Poskytuje sterilný plyn bez častíc pre kritické výrobné prostredia.
*Podporuje vysoko čistú filtráciu pre čisté priestory a kontrolované prostredia na zachovanie integrity produktu.
3. Laboratórne plynové systémy
*Používa sa v laboratórnych prostrediach na čistenie plynných prúdov v analytických zariadeniach, ako je plynová chromatografia a hmotnostná spektrometria.
*Zaisťuje vysoko čisté plyny pre výskumné a testovacie aplikácie a chráni citlivé prístroje.
4. Spracovanie potravín a nápojov
*Filtruje CO₂ a ďalšie plyny používané pri sýtení oxidom uhličitým, balení a skladovaní, čím zachováva bezpečnosť a kvalitu potravín.
*Zaisťuje dodávku plynu bez kontaminácie v spracovateľských závodoch, najmä pre veľkoobjemové plynárenské spoločnosti.
5. Ropný a plynárenský priemysel
*Čísti prúdy zemného plynu pri filtrácii plynovou podložkou a odstraňuje nečistoty pred skladovaním alebo prepravou.
*Chráni následné zariadenia odstraňovaním častíc, vlhkosti a nečistôt vo vysokotlakových systémoch prúdenia plynu.
6. Chemická výroba
*Filtruje úžitkové plyny ako dusík a argón používané pri chemickej syntéze a reakciách.
*Udržiava čistotu plynu, aby sa zabránilo kontaminácii a reakčným nezrovnalostiam.
7. Letectvo a obrana
*Dodáva vysoko čisté plyny vo výrobnom a testovacom prostredí pre letecké materiály a komponenty.
*Zaisťuje konzistentnú čistotu plynu v kontrolovanom prostredí pre montáž lietadiel a obranných zariadení.
8. Výroba energie (elektrárne)
*Filtruje plyny pod vysokým tlakom pre chladiace a procesné aplikácie, najmä pri vysokých teplotách.
*Zvyšuje účinnosť a znižuje opotrebovanie zariadení tým, že zabraňuje kontaminácii v systémoch chladenia a prúdenia plynu.
Tieto fFiltre sú nevyhnutné v každej aplikácii vyžadujúcej čistý a konzistentný prietok plynu, čím sa zvyšuje ochrana zariadenia,
efektívnosť procesov a kvalita konečného produktu vo všetkých odvetviach.
Pošlite nám svoju správu:
