Pokročilé povrchovo montované filtre IGS s tesnením C-Seal pre systémy s ultračistými polovodičovými plynmi
Popis
Povrchové filtre HENGKO sú navrhnuté tak, aby spĺňali náročné požiadavky integrovaných plynových systémov používaných v polovodičových OEM nástrojoch. Tieto filtre ponúkajú špičkovú filtráciu s veľkosťou jemnosti 0,003 µm a zabezpečujú výnimočný výkon a spoľahlivosť s účinnosťou zachytávania častíc ≥99,9999999 % (9-LRV) pri 120 slpm.
Tieto filtre sú vyrobené z robustnej práškovo spekanej nehrdzavejúcej ocele 316L pre filtračný prvok a puzdro a spĺňajú špecifikácie SEMI F86-0304. Obsahujú dvojportové komponenty prispôsobené pre 1,125” systémy distribúcie plynu s konfiguráciou C-tesnenia. Podporujú maximálny vstupný tlak 3,4 MPa pri 100 °C a maximálny prevádzkový tlakový rozdiel 0,69 MPa pri 100 °C.
Tieto špecializované filtre, kompatibilné so špecifikáciami tesnení typu C aj W, dosahujú čistotu po prúde s uvoľňovaním častíc
S povrchovou úpravou Ra< 1,6 µm na vonkajšej strane a RaS hrúbkou < 0,13 µm na vnútornej strane sú navrhnuté tak, aby odolali vysokým teplotám až do 460 °C. Tieto filtre sú navrhnuté pre jednoduchú integráciu a modulárne vylepšenia dizajnu, zjednodušujú inštaláciu a údržbu a pomáhajú optimalizovať výkon systému v aplikáciách dodávky a riadenia polovodičových plynov.
Funkcia produktu
▶ Celková konštrukcia z nehrdzavejúcej ocele 316L
▶ Miniaturizovaný dizajn, kompaktná konštrukcia, úspora miesta
▶ Vynikajúce vlastnosti náhrady plynu a desorpcie
▶ Odolné voči vysokým teplotám, vysokému tlaku a korózii
▶ Telo z elektrolyticky leštenej nehrdzavejúcej ocele 316L
▶ Jednoduchá a efektívna inštalácia a údržba
▶ Mechanické tesnenie, konštrukčne nezvarené s médiom
Dátový list
| Technické parametre | Hodnoty |
|---|---|
| Materiál filtračného prvku | Spekaný prášok z nehrdzavejúcej ocele 316L |
| Materiál puzdra | Nerezová oceľ 316L |
| Maximálny vstupný tlak | 3,4 MPa pri 100 °C |
| Maximálny prevádzkový rozdiel | 0,69 MPa pri 100 °C |
| Miera úniku hélia pri overení | 1x10⁻¹¹ cm³/min |
| Miera úniku hélia | 1x10⁻⁹ cm³/min |
| Povrchová úprava | Vonkajší povrch Ra< 1,6 μm |
| Vnútorný povrch Ra< 0,13 μm | |
| Maximálna prevádzková teplota | 460 °C |
| Účinnosť zachytávania častíc | ≥99,9999999 % (9-LRV) pri 120 slpm (referenčný MPPS, všetky častice) |
| Čistota následného toku | Uvoľňovanie častíc:< 0,03 častíc/liter (< 1 častica/ft³) |
| Prchavé látky:vlhkosť < 10 ppb | |
| Veľkosť zachytených častíc | ≥0,003 μm |
| Rozsah prietoku | 0 ~ 120 slpm |
Veľkosť
Tu je číslo dielu, ktorý si môžete objednať, a podrobnosti o veľkosti:
| Model produktu | Prietok | Výška H (mm) | Presnosť filtrácie | Úroveň čistenia |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Typické aplikácie
Na použitie s W-tesnením a C-tesnením, modulárnymi systémami na povrchovú montáž s rozmermi 1,125” a 1,5”.
Pošlite nám svoju správu:
