Senzor teploty a vlhkosti pre polovodičovú schému regulácie teploty v čistej miestnosti
Prehliadka produktov
Teplotaavlhkosť čistého priestoru sa určuje hlavne podľa požiadaviek procesu, ale pod podmienkou splnenia požiadaviek procesu by sa mal brať do úvahy pocit pohodlia.So zlepšovaním požiadaviek na čistotu vzduchu nastal trend čoraz prísnejších požiadaviek na teplotu a vlhkosť.
Keďže presnosť spracovania je čoraz jemnejšia, rozsah kolísania teploty je čoraz menší.Napríklad v procese litografickej expozície pri výrobe integrovaných obvodov vo veľkom meradle sa vyžaduje, aby bol rozdiel koeficientu tepelnej rozťažnosti medzi sklom a kremíkovým plátkom ako materiálom masky stále menší.Kremíkový plátok s priemerom 100 um, nárast teploty o 1 stupeň, spôsobí lineárnu expanziu o 0,24 um, takže musí existovať teplota ± 0,1 stupňa, súčasne je hodnota vlhkosti vo všeobecnosti nízka, pretože ľudia sa potia, produkt bude mať znečistenie, najmä strach z dielne sodíkových polovodičov, táto dielňa by nemala presiahnuť 25 stupňov.
Vysoká vlhkosť spôsobuje ďalšie problémy.Keď relatívna vlhkosť prekročí 55%, na stene potrubia chladiacej vody sa vytvorí rosa, čo spôsobí rôzne nehody, ak sa to stane v presných zariadeniach alebo obvodoch.Keď je relatívna vlhkosť 50%, ľahko zhrdzavie.Okrem toho, keď je vlhkosť príliš vysoká, prach prilepený na povrchu kremíkového čipu bude chemicky adsorbovaný na povrchu, aby odolal odstráneniu.Čím vyššia je relatívna vlhkosť, priľnavosť je ťažké odstrániť, ale keď je relatívna vlhkosť nižšia ako 30%, častice sa ľahko adsorbujú na povrchu v dôsledku pôsobenia elektrostatickej sily a veľké množstvo polovodičových prvkov je náchylné na rozpad.Optimálny teplotný rozsah na výrobu oblátok je 35-45%.
Preto je kontrola teploty a vlhkosti obzvlášť dôležitá, HENGKO vám ich môže poskytnúťprispôsobené riešenia spracovania snímačov teploty a vlhkosti!
Senzor teploty a vlhkosti pre polovodičovú schému regulácie teploty v čistej miestnosti
Nenašli ste produkt, ktorý by vyhovoval vašim potrebám?Kontaktujte našich predajcovSlužby prispôsobenia OEM / ODM! 
