Polovodičové filtre

Polovodičové plynové filtre:

Zabezpečenie dokonalej čistoty plynu pri výrobe triesok

V zložitom svete výroby polovodičov, kde je prvoradá presnosť a čistota, kvalita

použité plyny zohrávajú rozhodujúcu úlohu pri určovaní úspechu procesu. Nečistoty, dokonca aj na nekonečne malých úrovniach,

môže spôsobiť zmätok v jemných obvodoch mikročipov, čím sa stanú poškodenými a nepoužiteľnými. Na ochranu

Tento kritický proces, polovodičové plynové filtre stoja ako neústupní strážcovia a starostlivo odstraňujú kontaminanty

a zabezpečenie nedotknutej kvality plynov, ktoré prúdia cez výrobné linky.

Spekaných kovových filtrov má mnoho vynikajúcich vlastností a výhod

1. Vyrobené v najmodernejšom prostredí čistých priestorov

Tieto filtre sa rodia v modernej čistej miestnosti, v prostredí, kde sa starostlivo udržiavajú dokonalé podmienky, aby sa minimalizovala akákoľvek potenciálna kontaminácia. Prechádzajú prísnym výrobným procesom, ktorý začína presným zváraním v atmosfére čisteného vzduchu. Následné prepláchnutie deionizovanou vodou, po ktorom nasleduje preplachovanie vysokotlakovým filtrovaným dusíkom, eliminuje akékoľvek pretrvávajúce častice a znižuje riziko uvoľňovania častíc.

2. Výnimočná účinnosť odstraňovania častíc

S pozoruhodnou filtračnou účinnosťou 9 LRV pre častice s veľkosťou 0,003 μm, v súlade s prísnymi normami stanovenými testovacími metódami SEMI F38 a ISO 12500, tieto filtre účinne odstraňujú všetky častice generované koróziou a častice generované pohyblivými časťami, čím zaisťujú dokonalú čistotu plynov.

3. Vynikajúca mechanická pevnosť

Tieto filtre, ktoré boli dôkladne testované, aby zaručili výnimočnú odolnosť v náročných výrobných procesoch a prostrediach, ktoré často využívajú vysoký tlak plynu, poskytujú neochvejný výkon počas celej svojej životnosti.

4. Prekročenie najvyšších priemyselných noriem

Tieto filtre, ktoré prekonávajú prísne požiadavky na filtráciu plynu pri spracovaní polovodičov, prechádzajú prísnym testovaním, aby sa zaručilo, že spĺňajú kritickú filtračnú účinnosť, presné riadenie prietoku a bezpečnostné normy, ktoré vyžadujú systémy dodávania plynu pri výrobe polovodičov.

5. Neochvejný záväzok k bezpečnosti

Na ochranu pred vystavením horľavým, korozívnym, toxickým a samozápalným procesným plynom sa telesá filtrov podrobujú dôkladnému testovaniu tesnosti, čím sa zaisťuje, že dosahujú pozoruhodnú rýchlosť úniku menej ako 1x10-9 atm scc/sekundu. Tento neochvejný záväzok k bezpečnosti zaisťuje, že nebezpečné plyny budú zadržané a zabráni sa tomu, aby spôsobovali škody.

6. Nekompromisná čistota pre dokonalú výrobu čipov

Vďaka svojim výnimočným filtračným schopnostiam, neochvejnému záväzku k bezpečnosti a dodržiavaniu najvyšších priemyselných noriem hrajú tieto plynové filtre kľúčovú úlohu pri zabezpečovaní zložitého procesu výroby polovodičov. Stoja ako strážcovia čistoty, ktorí zabezpečujú, aby cez výrobné linky prúdili len tie najčistejšie plyny, čím dláždia cestu pre vytvorenie vysokovýkonných mikročipov, ktoré poháňajú náš moderný svet.

Typy polovodičových filtrov

Polovodičové filtre sa používajú v rôznych aplikáciách, vrátane:

* Výroba elektroniky:

Polovodičové filtre sa používajú na odstránenie častíc z ultračistej vody, plynov a chemikálií používaných pri výrobe polovodičov.

* Chemická mechanická planarizácia (CMP):

Polovodičové filtre sa používajú na odstránenie častíc zo suspenzií CMP, ktoré sa používajú na leštenie polovodičových doštičiek.

* Biomedicínske:

Polovodičové filtre sa používajú na odstránenie častíc z tekutín používaných v lekárskej diagnostike a liečbe.

* Environmentálne:

Polovodičové filtre sa používajú na odstránenie častíc zo vzduchu a vody.

Existujú štyri hlavné typy polovodičových filtrov:

1. Membránové filtre:

Membránové filtre sú vyrobené z tenkého, porézneho filmu, ktorý umožňuje priechod tekutín a zachytáva častice.

 

Membránové filtre pre polovodiče

 

 

2. Hĺbkové filtre:

Hĺbkové filtre sú vyrobené z hrubého, kľukatého materiálu, ktorý zachytáva častice, keď prechádzajú cez filter.

 

Hĺbkové filtre pre polovodiče

 

 

3. Adsorpčné filtre:

Adsorpčné filtre sú vyrobené z materiálu, ktorý priťahuje a drží častice.

 

 Adsorpčné filtre pre polovodiče

 

 

4. Spekané kovové filtre

Spekané kovové filtre sú typom hĺbkového filtra, ktorý sa bežne používa pri výrobe polovodičov. Vyrábajú sa spekaním jemného kovového prášku do poréznej štruktúry. Spekané kovové filtre sú známe svojou vysokou životnosťou, vysokou účinnosťou filtrácie a schopnosťou odolávať vysokým teplotám a tlakom.

Výhody spekaných kovových filtrov na výrobu polovodičov:

* Vysoká odolnosť:

Spekané kovové filtre sú veľmi odolné a vydržia drsné prevádzkové podmienky, vrátane vysokých teplôt, tlakov a korozívnych chemikálií.

 

* Vysoká účinnosť filtrácie:

Spekané kovové filtre dokážu odstrániť častice až do veľkosti 0,01 mikrónu, čo je nevyhnutné na ochranu jemných polovodičových komponentov pred kontamináciou.

* Dlhá životnosť:

Spekané kovové filtre majú dlhú životnosť a dajú sa ľahko čistiť a znova použiť.

* Chemická kompatibilita:

Spekané kovové filtre sú kompatibilné so širokou škálou chemikálií, vďaka čomu sú vhodné na použitie v rôznych procesoch výroby polovodičov.

Aplikácie spekaných kovových filtrov pri výrobe polovodičov:

* Čistenie plynu:

Spekané kovové filtre sa používajú na čistenie plynov používaných pri výrobe polovodičov, ako je dusík, vodík a kyslík.

* Chemická filtrácia:

Spekané kovové filtre sa používajú na filtrovanie chemikálií používaných pri výrobe polovodičov, ako sú kyseliny, zásady a rozpúšťadlá.

* Filtrácia ultračistej vody:

Spekané kovové filtre sa používajú na filtrovanie ultračistej vody používanej pri výrobe polovodičov.

* Filtrácia suspenzie CMP:

Spekané kovové filtre sa používajú na filtráciu kalov CMP, ktoré sa používajú na leštenie polovodičových doštičiek.

Spekané kovové filtre sú nevyhnutnou súčasťou procesu výroby polovodičov a pomáhajú zabezpečiť výrobu vysokokvalitných polovodičových zariadení.

 

Typ polovodičového filtra použitého v konkrétnej aplikácii závisí od veľkosti odstraňovaných častíc, typu filtrovanej tekutiny a požadovanej úrovne filtrácie.

Tu je tabuľka, v ktorej sú zhrnuté rôzne typy polovodičových filtrov:

Typ filtra	Popis	Aplikácie	Obrázok
Membránové filtre	Vyrobené z tenkého porézneho filmu, ktorý umožňuje tekutinám prechádzať a zachytávať častice.	Výroba elektroniky, CMP, biomedicínska, environmentálna	Membránové filtre pre polovodiče
Hĺbkové filtre	Vyrobené z hrubého, kľukatého materiálu, ktorý zachytáva častice, keď prechádzajú cez filter.	CMP, biomedicínske, environmentálne	Hĺbkové filtre pre polovodiče
Adsorpčné filtre	Vyrobené z materiálu, ktorý priťahuje a drží častice.	Výroba elektroniky, CMP, biomedicínska, environmentálna	Adsorpčné filtre pre polovodiče
Spekané kovové filtre	Vyrobené spekaním jemného kovového prášku do poréznej štruktúry.	Čistenie plynov, chemická filtrácia, filtrácia ultračistej vody, filtrácia kalov CMP	Otvorí sa v novom oknewww.hengko.com Spekané kovové filtre pre polovodiče

Aplikácia

Spekané kovové polovodičové plynové filtre sú široko používané v rôznych aplikáciách v polovodičovom priemysle. Ich jedinečné vlastnosti, ako je vysoká účinnosť filtrácie, trvanlivosť a schopnosť odolávať vysokým teplotám a tlakom, z nich robí základnú súčasť systémov dodávania plynu pri výrobe polovodičov.

Tu sú niektoré zo špecifických aplikácií spekaných kovových polovodičových plynových filtrov:

1. Výroba oblátok:

Spekané kovové filtre sa používajú na čistenie plynov používaných pri výrobe plátkov, ako je dusík, vodík a kyslík. Tieto plyny sú nevyhnutné pre procesy, ako je epitaxný rast, leptanie a doping.

2. Chemická filtrácia:

Spekané kovové filtre sa používajú na filtrovanie chemikálií používaných pri výrobe polovodičov, ako sú kyseliny, zásady a rozpúšťadlá. Tieto chemikálie sa používajú na rôzne účely vrátane čistenia, leptania a leštenia.

3. Filtrácia ultračistej vody:

Spekané kovové filtre sa používajú na filtrovanie ultračistej vody (UPW) používanej pri výrobe polovodičov. UPW je nevyhnutný na čistenie a oplachovanie doštičiek, ako aj na prípravu chemikálií.

4. Filtrácia suspenzie CMP:

Spekané kovové filtre sa používajú na filtráciu kalov CMP, ktoré sa používajú na leštenie polovodičových doštičiek. CMP je kritickým procesom pri výrobe mikročipov.

5. Filtrácia na mieste použitia (POU):

Spekané kovové filtre sa často používajú ako POU filtre, ktoré sa inštalujú priamo v mieste použitia, aby poskytli najvyššiu úroveň filtrácie. POU filtre sú obzvlášť dôležité pre aplikácie, kde je kritická čistota plynu, ako napríklad pri výrobe mikroprocesorov a iných vysokovýkonných zariadení.

6. Manipulácia s vysoko čistým plynom:

Spekané kovové filtre sa používajú v systémoch na manipuláciu s plynmi s vysokou čistotou na odstránenie kontaminantov z plynov používaných pri výrobe polovodičov. Tieto kontaminanty môžu zahŕňať častice, vlhkosť a organické zlúčeniny.

7. Výroba mikroelektroniky:

Spekané kovové filtre sa používajú pri výrobe mikroelektroniky, ako sú počítače, tablety, mobilné telefóny, senzory internetu vecí a ovládacie zariadenia.

8. Filtrácia mikroelektromechanických systémov (MEMS):

Spekané kovové filtre sa používajú pri filtrácii MEMS, čo je proces odstraňovania nečistôt z mikroelektromechanických systémov. MEMS sa používajú v rôznych aplikáciách vrátane senzorov, akčných členov a prevodníkov.

9. Filtrácia zariadenia na ukladanie dát:

Spekané kovové filtre sa používajú pri filtrácii zariadení na ukladanie údajov, čo je proces odstraňovania nečistôt zo zariadení na ukladanie údajov, ako sú pevné disky a jednotky SSD.

Okrem týchto špecifických aplikácií sa filtre zo spekaných kovových polovodičových plynov používajú aj v rôznych iných aplikáciách v polovodičovom priemysle. Ich všestrannosť a spoľahlivosť z nich robí nevyhnutný nástroj pre výrobcov polovodičov.

Hľadáte vysokokvalitné plynové filtre zo spekaných kovových polovodičov?

HENGKO je vaším partnerom pre OEM riešenia v systémoch výroby polovodičov.

Naše precízne skonštruované filtre zaisťujú spoľahlivosť a efektivitu vo vašich procesoch a ponúkajú vám výhodu na konkurenčnom trhu.

Prečo si vybrať filtre HENGKO?

* Vynikajúca kvalita a odolnosť
* Prispôsobené riešenia, aby vyhovovali vašim špecifickým potrebám
* Vylepšený výkon pre výrobu polovodičov

Nedovoľte, aby problémy s filtráciou brzdili vašu produkciu.

Obráťte sa na nás ešte dnes a preskúmajte, ako môžu naše spekané kovové filtre spôsobiť revolúciu vo vašom výrobnom systéme.

Kontaktujte nás naka@hengko.com

Staňte sa partnerom spoločnosti HENGKO a urobte krok k dokonalosti vo výrobe polovodičov!